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等离子清洗机(plasma cleaner)也叫等离子清洁机,或者等离子表面处理仪,是一种全新的高科技技术,利用等离子体来达到常规清洗方法无法达到的效果。等离子体是物质的一种状态,也叫做物质的第四态,并不属于常见的固液气三态。对气体施加足够的能量使之离化便成为等离子状态。等离子体的“活性”组分包括:离子、电子、原子、活性基团、激发态的核素(亚稳态)、光子等。等离子清洁机就是通过利用这些活性组分的性质来处理样品表面,从而实现清洁、涂覆等目的。
等离子清洗机应用领域包括:
> 半导体集成电路及微电子产业
> LCD液晶/LED封装,PCB线路板制造
> 等离子清洗机生物医疗材料表面改性修饰
> 精密仪器、机械及电气制造
> 等离子处理机聚合物薄膜、纺织纤维改性处理
> 工业污水处理、有机废气处理(VOC)等环保产业
> 等离子表面处理器用于汽车制造、橡胶塑料产业
