真空等离子清洗机，GDR-60PR标准型等离子处理机

　　产品特点

　　立式中型等离子清洗机，PLC人机自动控制，全电路检测，用于BGA、COB、CSP、LED封装制程清洗有机物及氧化物，中批量生产机型。

　　>> 技术参数--标准配置，可根据客户要求定制

　　◆ 设备外形尺寸(不包括报警灯)

　　760(W)×850(D)×1750(H)mm

　　◆ 不锈钢或合金铝真空仓体尺寸(约60升)

　　450(W)×450(D)×510(H)mm

　　◆ 仓体结构

　　12层铝合金放电电极,阳极氧化处理

　　◆ 等离子发生器(韩国KM)

　　频率13.56MHZ,功率0-500W连续调节,自动阻抗匹配，可连续长时间工作。

　　◆ 控制系统

　　触摸屏+PLC全自动控制，可进行多步工艺流程处理，采用欧姆龙、施耐德等品牌电器元件, 有手动、自动两种控制模式，7”真彩触摸屏，进口可编程控制器，可在线设定、修改、监控真空压力、处理时间、气体流量、等离子功率等工艺参数，并具有故障报警、工艺存储、密码锁定、系统维护等多种功能。◆ 真空系统

　　日本爱发科(ULVAC)机械真空泵 VDN601 (17L/S)

　　真空专用电磁角阀、充气阀、DN40不锈钢真空波纹管）高精度真空计、规管

　　◆ 充气系统

　　两路工艺气体配置，美国高精度电子质量流量计(MFC)、针阀，

　　美国世伟洛克不锈钢抛光气体管路及接口组件，德国双级减压阀

　　等离子清洗机，一种新型的材料表面改性设备，等离子清洗机具有低能耗、污染小、处理时间短、效果等明显的特点，可以轻松去除肉眼看不到的材料表面的有机物和无机物，同时活化材料表面，增加浸润效果，提高材料的表面能，附着力和亲水性。等离子清洗机省去了湿法化学处理工艺中所不可缺少的烘干，废水处理等工艺；若与其他干式工艺如放射线处理、电子束处理、电晕处理等相比，等离子清洗机独特之处在于它对材料的作用只发生在其表面几十至数千埃厚度范围内，既能改变材料表面性质又不改变本体性质。