联系人：刘少美
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产品特点
立式大型机，触摸电脑+PLC多步流程全自动控制，全电路检测，用于LCD、PCB、LED、太阳能电池等产业大批量清洗，进口配置。
>> 技术参数（常规配置，可根据客户要求定做）
◆ 等离子发生器(美国MKS)
频率13.56MHZ,功率0-1250W连续调节,自动阻抗匹配,全电路保护,可连续长时间工作
◆ 控制系统
PLC触摸屏控制,采用欧姆龙、西门子品牌电器元件，性能稳定可靠,并具有手动、自动两种模式
◆ 真空系统(真空压力PID闭环自动控制)
日本爱发科(ULVAC)机械真空泵 VDN601 (17L/S) （前级泵可选配爱德华干泵）
英国爱德华罗茨泵 EH250(70L/S)
台湾气动真空角阀、充气阀、DN40不锈钢真空波纹管、德国英福康高精度真空计、传感器
◆ 充气系统
美国AE高精度电子质量流量计(两路气体配制)、针阀
美国世伟洛克气体管路及接口组件，德国双级减压阀
日本SMC及CKD高真空气阀组件
等离子清洗技术特点是不分处理对象的基材类型，几何形状均可进行处理，对金属、半导体、氧化物、PDMS、ITO、FTO、SEBS、硅片、高分子材料、石墨烯粉末、金属氧化物粉末等都能很好地处理，可实现整体和局部以及复杂结构的清洗、活化、改性、刻蚀，等离子接枝聚合
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