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立式化学气相沉积炉(沉积炭)可用于以碳氢气体(如C3H8等)为碳源的材料表面或基体等温CVD/CVI
处理。

☆ 根据炉膛尺寸与结构设置温区,温度均匀性好;
☆ 采用特殊结构沉积室,密封效果好,抗污染能力强;
☆ 采用多通道沉积气路,流场均匀,无沉积死角,沉积效果好;
☆ 对炭沉积过程中产生的焦油、固体粉尘、有机气体等能进行有效的处理。



☆ 炉门:丝杠升降/液压升降/手动升降;手动锁紧/自动锁圈锁紧
☆ 炉壳:全碳钢/内层不锈钢/全不锈钢
☆ 炉胆:软碳毡/软石墨毡/硬质复合毡/CFC
☆ 加热器、马弗:等静压石墨/模压三高石墨/细颗粒石墨
☆ 工艺气路系统:体积/质量流量计;手动阀/自动阀;进口/国产
☆ 真空泵和真空计:进口/国产
☆ 人机界面:模拟屏/触摸屏/工控机
☆ PLC:欧姆龙/西门子
☆ 控温仪表:日本岛电/英国欧陆
☆ 热电偶:C分度号/S分度号/K分度号/N分度号
☆ 记录仪:无纸记录仪/有纸记录仪;进口/国产
☆ 电器元件:正泰/施耐德/西门子

【材料工艺与热工装备客户体验中心】
顶立科技设立了材料工艺与热工装备客户体验中心,拥有不同类型的中试热工装备,在不断生产试验过程中累计了丰富的经验,大大提高了设备的可靠性和实用性。
【基本功能】:
1、新产品研究开发平台
2、用户中试试验平台
3、教学实践与培训基地
【配备条件】:
1、60多种型号规格的中试热工装备
2、1500KVA大容量变压器
3、500m3循环水池
4、独立的气站
5、3000m2用户实验场地






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