| 品牌 |
锐博 |
Z轴定位速度 |
100mm/s |
| 设备外形尺寸 |
850mm×700mm×1200mm（L×W×H） |
共晶压力 |
1050g |
| 料带送料器兼容性 |
8mm/12mm/16mm/24mm料带 |
X/Y轴最大运动速度 |
800mm/s |
| 共晶加热方式 |
脉冲热压+红外预热 |
贴装重复精度 |
≤1μm（3σ） |
| 晶圆尺寸兼容性 |
4英寸/6英寸/8英寸 |
气源要求 |
0.5-0.7MPa洁净压缩空气 |
| 电压 |
220V |
定位精度 |
±10μm |
| 功率 |
6KW |
冷却方式 |
强制风冷+水冷（热压头） |
| 贴装定位精度 |
±1.5μm（3σ） |
芯片尺寸适应范围 |
0.1mm×0.1mm-12mm×12mm |
| 视觉识别精度 |
±0.5μm |
分辨度 |
高清 |
| 电源 |
220 |
数据存储容量 |
≥1000组工艺参数 |
| 温度控制精度 |
±1℃（恒温阶段） |
基板材质兼容性 |
陶瓷、蓝宝石、Si、GaAs |
| Y轴有效行程 |
250mm |
气压 |
0.5-0.7MPa |
| 环境温度 |
25±2°C |
驱动系统类型 |
伺服电机（X/Y轴）+压电驱动（Z轴） |
| 共晶压力范围 |
0.1-5N |
|
18898580916