| 品牌 |
锐博 |
功率 |
6KW |
| 分辨度 |
高清 |
操作系统 |
Windows10Embedded |
| 晶圆尺寸兼容性 |
4英寸/6英寸/8英寸 |
数据存储容量 |
≥1000组工艺参数 |
| 重量 |
1500 |
设备尺寸 |
1640x1320x1820(mm) |
| Z轴定位速度 |
100mm/s |
故障诊断功能 |
实时温度/压力/位置异常报警 |
| 共晶加热方式 |
脉冲热压+红外预热 |
视觉识别精度 |
±0.5μm |
| 喂料器数目 |
6位自动换吸嘴库 |
Z轴调节行程 |
0-50mm |
| 贴装头数量 |
4头(旋转式) |
X/Y轴最大运动速度 |
800mm/s |
| 电源 |
220 |
安全防护等级 |
IP54(工作区域) |
| 贴装重复精度 |
≤1μm(3σ) |
驱动系统类型 |
伺服电机(X/Y轴)+压电驱动(Z轴) |
| 设备外形尺寸 |
850mm×700mm×1200mm(L×W×H) |
工作环境温度 |
15-35℃ |
| 环境温度 |
25±2°C |
芯片尺寸适应范围 |
0.1mm×0.1mm-12mm×12mm |
| 压力控制精度 |
±0.02N |
气压 |
0.5-0.7MPa |
| 气源要求 |
0.5-0.7MPa洁净压缩空气 |
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