| 品牌 |
锐博 |
编程方式 |
离线编程+在线示教 |
| 故障诊断功能 |
实时温度/压力/位置异常报警 |
功率 |
6KW |
| 压力控制精度 |
±0.02N |
是否自动 |
是 |
| 贴装头数量 |
4头(旋转式) |
视觉识别精度 |
±0.5μm |
| Z轴定位速度 |
100mm/s |
共晶加热方式 |
脉冲热压+红外预热 |
| 贴装良率 |
≥99.95%(稳定生产条件下) |
贴装定位精度 |
±1.5μm(3σ) |
| 视觉定位系统 |
双CCD+底部Mark点识别 |
X轴有效行程 |
300mm |
| 共晶压力 |
1050g |
X/Y轴最大运动速度 |
800mm/s |
| Z轴调节行程 |
0-50mm |
晶圆尺寸兼容性 |
4英寸/6英寸/8英寸 |
| Y轴有效行程 |
250mm |
设备外形尺寸 |
850mm×700mm×1200mm(L×W×H) |
| 环境温度 |
25±2°C |
操作系统 |
Windows10Embedded |
| 气压 |
0.5-0.7MPa |
设备净重 |
约500kg |
| 温度控制精度 |
±1℃(恒温阶段) |
视觉分辨率 |
500万像素 |
| 工作环境湿度 |
30%-70%(无冷凝) |
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