| 品牌 |
锐博 |
X轴有效行程 |
300mm |
| 角度精度 |
±1° |
共晶加热方式 |
脉冲热压+红外预热 |
| 喂料器数目 |
6位自动换吸嘴库 |
重量 |
1500 |
| 基板尺寸范围 |
5mm×5mm-200mm×200mm |
冷却方式 |
强制风冷+水冷（热压头） |
| 晶圆尺寸兼容性 |
4英寸/6英寸/8英寸 |
定位精度 |
±10μm |
| 驱动系统类型 |
伺服电机（X/Y轴）+压电驱动（Z轴） |
Z轴定位速度 |
100mm/s |
| 数据存储容量 |
≥1000组工艺参数 |
是否自动 |
是 |
| 芯片厚度适应范围 |
0.05mm-2mm |
温度控制精度 |
±1℃（恒温阶段） |
| 工作环境湿度 |
30%-70%（无冷凝） |
Z轴调节行程 |
0-50mm |
| 视觉定位系统 |
双CCD+底部Mark点识别 |
安全防护等级 |
IP54（工作区域） |
| 基板材质兼容性 |
陶瓷、蓝宝石、Si、GaAs |
环境温度 |
25±2°C |
| 视觉识别精度 |
±0.5μm |
电源 |
220 |
| 压力控制精度 |
±0.02N |
Y轴有效行程 |
250mm |
| 贴装头数量 |
4头（旋转式） |
|
18898580916