| 品牌 |
锐博 |
重量 |
1500 |
| 视觉定位系统 |
双CCD+底部Mark点识别 |
芯片尺寸适应范围 |
0.1mm×0.1mm-12mm×12mm |
| 是否自动 |
是 |
加热温度范围 |
室温-450℃ |
| 晶圆尺寸兼容性 |
4英寸/6英寸/8英寸 |
共晶压力 |
1050g |
| 冷却方式 |
强制风冷+水冷（热压头） |
喂料器数目 |
6位自动换吸嘴库 |
| 角度精度 |
±1° |
安全防护等级 |
IP54（工作区域） |
| 故障诊断功能 |
实时温度/压力/位置异常报警 |
驱动系统类型 |
伺服电机（X/Y轴）+压电驱动（Z轴） |
| 基板尺寸范围 |
5mm×5mm-200mm×200mm |
视觉分辨率 |
500万像素 |
| 气压 |
0.5-0.7MPa |
设备净重 |
约500kg |
| 是否支持加工定制 |
是 |
X/Y轴最大运动速度 |
800mm/s |
| Z轴定位速度 |
100mm/s |
数据存储容量 |
≥1000组工艺参数 |
| 温度控制精度 |
±1℃（恒温阶段） |
定位精度 |
±10μm |
| 单芯片贴装时间 |
≤0.8秒/芯片 |
芯片厚度适应范围 |
0.05mm-2mm |
| X轴有效行程 |
300mm |
|
18898580916