| 品牌 |
锐博 |
是否自动 |
是 |
| 视觉定位系统 |
双CCD+底部Mark点识别 |
角度精度 |
±1° |
| 工作环境湿度 |
30%-70%（无冷凝） |
驱动系统类型 |
伺服电机（X/Y轴）+压电驱动（Z轴） |
| 共晶压力 |
1050g |
设备外形尺寸 |
850mm×700mm×1200mm（L×W×H） |
| 故障诊断功能 |
实时温度/压力/位置异常报警 |
晶圆尺寸兼容性 |
4英寸/6英寸/8英寸 |
| 安全防护等级 |
IP54（工作区域） |
温度控制精度 |
±1℃（恒温阶段） |
| 共晶加热方式 |
脉冲热压+红外预热 |
操作系统 |
Windows10Embedded |
| 设备净重 |
约500kg |
分辨度 |
高清 |
| 定位精度 |
±10μm |
是否支持加工定制 |
是 |
| 气源要求 |
0.5-0.7MPa洁净压缩空气 |
Y轴有效行程 |
250mm |
| 升温速率 |
≥100℃/秒（从室温到300℃） |
基板材质兼容性 |
陶瓷、蓝宝石、Si、GaAs |
| 电压 |
220V |
料带送料器兼容性 |
8mm/12mm/16mm/24mm料带 |
| 数据存储容量 |
≥1000组工艺参数 |
贴装定位精度 |
±1.5μm（3σ） |
| 单芯片贴装时间 |
≤0.8秒/芯片 |
|
18898580916