| 品牌 |
锐博 |
编程方式 |
离线编程+在线示教 |
| 气源要求 |
0.5-0.7MPa洁净压缩空气 |
工作环境湿度 |
30%-70%（无冷凝） |
| Z轴定位速度 |
100mm/s |
冷却方式 |
强制风冷+水冷（热压头） |
| 料带送料器兼容性 |
8mm/12mm/16mm/24mm料带 |
基板材质兼容性 |
陶瓷、蓝宝石、Si、GaAs |
| 贴装良率 |
≥99.95%（稳定生产条件下） |
喂料器数目 |
6位自动换吸嘴库 |
| 芯片厚度适应范围 |
0.05mm-2mm |
压力控制精度 |
±0.02N |
| 重量 |
100 |
共晶压力 |
1050g |
| 电源 |
220 |
X/Y轴最大运动速度 |
800mm/s |
| 视觉识别精度 |
±0.5μm |
视觉分辨率 |
500万像素 |
| X轴有效行程 |
300mm |
设备净重 |
约500kg |
| 驱动系统类型 |
伺服电机（X/Y轴）+压电驱动（Z轴） |
数据存储容量 |
≥1000组工艺参数 |
| 安全防护等级 |
IP54（工作区域） |
晶圆尺寸兼容性 |
4英寸/6英寸/8英寸 |
| 定位精度 |
±10μm |
Z轴调节行程 |
0-50mm |
| 基板尺寸范围 |
5mm×5mm-200mm×200mm |
|
18898580916