| 品牌 |
锐博 |
定位精度 |
±10μm |
| 视觉定位系统 |
双CCD+底部Mark点识别 |
加热温度范围 |
室温-450℃ |
| 驱动系统类型 |
伺服电机（X/Y轴）+压电驱动（Z轴） |
角度精度 |
±1° |
| 压力控制精度 |
±0.02N |
X/Y轴最大运动速度 |
800mm/s |
| 贴装定位精度 |
±1.5μm（3σ） |
电压 |
220V |
| 编程方式 |
离线编程+在线示教 |
数据存储容量 |
≥1000组工艺参数 |
| 设备净重 |
约500kg |
基板尺寸范围 |
5mm×5mm-200mm×200mm |
| 贴装重复精度 |
≤1μm（3σ） |
电源要求 |
AC220V±10%，50Hz，最大功率3kW |
| 视觉分辨率 |
500万像素 |
芯片厚度适应范围 |
0.05mm-2mm |
| 升温速率 |
≥100℃/秒（从室温到300℃） |
晶圆尺寸兼容性 |
4英寸/6英寸/8英寸 |
| 共晶压力范围 |
0.1-5N |
工作环境湿度 |
30%-70%（无冷凝） |
| Z轴调节行程 |
0-50mm |
喂料器数目 |
6位自动换吸嘴库 |
| 温度控制精度 |
±1℃（恒温阶段） |
Y轴有效行程 |
250mm |
| 设备外形尺寸 |
850mm×700mm×1200mm（L×W×H） |
|
18898580916