| 品牌 |
锐博 |
故障诊断功能 |
实时温度/压力/位置异常报警 |
| 温度控制精度 |
±1℃（恒温阶段） |
设备尺寸 |
1640x1320x1820(mm) |
| 压力控制精度 |
±0.02N |
Z轴定位速度 |
100mm/s |
| 加热温度范围 |
室温-450℃ |
设备净重 |
约500kg |
| 定位精度 |
±10μm |
工作环境温度 |
15-35℃ |
| 芯片尺寸适应范围 |
0.1mm×0.1mm-12mm×12mm |
操作系统 |
Windows10Embedded |
| 芯片厚度适应范围 |
0.05mm-2mm |
共晶压力 |
1050g |
| 编程方式 |
离线编程+在线示教 |
安全防护等级 |
IP54（工作区域） |
| 晶圆尺寸兼容性 |
4英寸/6英寸/8英寸 |
贴装重复精度 |
≤1μm（3σ） |
| 视觉定位系统 |
双CCD+底部Mark点识别 |
数据存储容量 |
≥1000组工艺参数 |
| 视觉识别精度 |
±0.5μm |
基板尺寸范围 |
5mm×5mm-200mm×200mm |
| 贴装头数量 |
4头（旋转式） |
冷却方式 |
强制风冷+水冷（热压头） |
| Z轴调节行程 |
0-50mm |
是否自动 |
是 |
| 角度精度 |
±1° |
|
18898580916