| 品牌 |
锐博 |
X/Y轴最大运动速度 |
800mm/s |
| 环境温度 |
25±2°C |
视觉分辨率 |
500万像素 |
| Z轴定位速度 |
100mm/s |
工作环境湿度 |
30%-70%（无冷凝） |
| 重量 |
100 |
设备尺寸 |
1640x1320x1820(mm) |
| 气源要求 |
0.5-0.7MPa洁净压缩空气 |
电压 |
220V |
| 芯片尺寸适应范围 |
0.1mm×0.1mm-12mm×12mm |
基板尺寸范围 |
5mm×5mm-200mm×200mm |
| 数据存储容量 |
≥1000组工艺参数 |
电源要求 |
AC220V±10%，50Hz，最大功率3kW |
| Y轴有效行程 |
250mm |
定位精度 |
±10μm |
| 芯片厚度适应范围 |
0.05mm-2mm |
角度精度 |
±1° |
| 贴装定位精度 |
±1.5μm（3σ） |
基板材质兼容性 |
陶瓷、蓝宝石、Si、GaAs |
| 功率 |
6KW |
驱动系统类型 |
伺服电机（X/Y轴）+压电驱动（Z轴） |
| 压力控制精度 |
±0.02N |
晶圆尺寸兼容性 |
4英寸/6英寸/8英寸 |
| 分辨度 |
高清 |
设备净重 |
约500kg |
| 贴装良率 |
≥99.95%（稳定生产条件下） |
|
18898580916