| 品牌 |
锐博 |
数据存储容量 |
≥1000组工艺参数 |
| 气压 |
0.5-0.7MPa |
角度精度 |
±1° |
| X轴有效行程 |
300mm |
设备外形尺寸 |
850mm×700mm×1200mm(L×W×H) |
| 冷却方式 |
强制风冷+水冷(热压头) |
晶圆尺寸兼容性 |
4英寸/6英寸/8英寸 |
| 气源要求 |
0.5-0.7MPa洁净压缩空气 |
贴装头数量 |
4头(旋转式) |
| 喂料器数目 |
6位自动换吸嘴库 |
故障诊断功能 |
实时温度/压力/位置异常报警 |
| 贴装良率 |
≥99.95%(稳定生产条件下) |
Z轴调节行程 |
0-50mm |
| 单芯片贴装时间 |
≤0.8秒/芯片 |
分辨度 |
高清 |
| Z轴定位速度 |
100mm/s |
视觉识别精度 |
±0.5μm |
| 驱动系统类型 |
伺服电机(X/Y轴)+压电驱动(Z轴) |
电源 |
220 |
| 视觉分辨率 |
500万像素 |
芯片尺寸适应范围 |
0.1mm×0.1mm-12mm×12mm |
| 电压 |
220V |
视觉定位系统 |
双CCD+底部Mark点识别 |
| 芯片厚度适应范围 |
0.05mm-2mm |
环境温度 |
25±2°C |
| 操作系统 |
Windows10Embedded |
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