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吸气行程开始后，滞留在气缸余隙内的高压气体会有一个反膨胀过程。反膨胀后气体压力恢复到吸气压力，用于压缩这部分气体而消耗的能量在反膨胀中就损失掉了。余隙越小，一方面反膨胀引起的功耗越小，另一方面吸气量越大，压缩机能效比因此大大增加。反膨胀过程中，气体与阀板、活塞顶部和气缸顶部的高温面接触吸热，因而反膨胀结束时气体温度不会降低到吸气温度。反膨胀结束后，正真的吸气过程才开始。气体进入气缸后一方面与反膨胀气体混合，温度升高；另一方面，混合气体从壁面上吸热升温。因此压缩过程开始时的气体温度比吸气温度高。但由于反膨胀过程和吸气过程非常短暂，实际的温升很非常有限，一般不足5°C。反膨胀是由气缸余隙引起的，是传统活塞式压缩机无法回避的缺点。阀板排气孔中的气体排不出，就会有反膨胀。
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