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| 累计流量精度 |
流量精度之外额外增加±0.5%读数误差 |
品牌 |
爱拓利 |
| 模拟信号精度 |
在基础误差上额外增加±0.1%满量程误差 |
价格 |
具体以协商为主 |
| 重量 |
从0-0.5SCCM到0-1000SLPM |
流量控制范围 |
2%~100%F.S. |
| 响应时间 |
<1s |
显示屏 |
带按键背光开关，标准为LCD显示屏，可选TFT彩色显示屏 |
| 安装方式 |
对位置无要求 |
气路接头 |
快拧、快插、卡套、VCR |
| 密封件材质 |
氟橡胶 |
Max耐压 |
3MPa |
| 防护等级 |
IP40 |
认证 |
ISO9001、NIST溯源认证、CE、RoHS、REACH声明、CSA（可选） |
| 重复精度 |
±0.2%F.S. |
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18168878188