联系人:李小波
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地址: 中国 北京 朝阳区北京市朝阳区南磨房路37号
| 型号 |
GVC-1000 GVC-2000 GVC-2200 |
测量范围 |
1-600秒 |
| 参数
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GVC-1000
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GVC-1200
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GVC-2000
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GVC-2200
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外形尺寸
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424×2 65×260mm
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424×295×260mm
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424×265×260mm
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424×295×260mm
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输入电压
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220V/50Hz (可定制 110V 输入)
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溅射电压
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2400V
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600V
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工作原理
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直流溅射
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磁控溅射
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功率
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500W
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450W
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靶材尺寸
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φ57×0.1 2mm
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可选靶材
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金、铂、银、铜、铝、铅等常用金属靶材
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真空泵
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旋片式真空泵 1L/s(可选配无油涡旋泵)
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真空室
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φ128×130mm
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极限真空
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0.1Pa(电阻式真空规)
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抽气节拍
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<90s
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样品杯
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φ90 样品杯 1 个/φ25 样品杯 4 个/φ15 样品杯 6 个
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样品室进气接头
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Φ4 快拧接头(外径 4mm,内径 2.5mm 气管)
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样品室进气
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自动
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手动
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自动
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可固定不动
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放气
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自动
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手动
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自动
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手动
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工作电流
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2-30mA 任意可调
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2-30mA 任意可调
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2-50mA 任意可调
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30-50mA 固定值
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电压可调
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否
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否
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是
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否
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颗粒大小
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10-20nm
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6-10nm
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工作气体
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空气或氩气
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保护功能
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过流保护(>50mA 自动切断)、真空保护(>100Pa 自动切断)
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产品特点
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全自动控制、简单易用
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性价比高
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膜层均匀,颗粒更细,可在较好的真空度下实现大电流溅射,基本无 温升,不损伤样品。
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镀膜附着力
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一般
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较强
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适用样品
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通用样品(对温度不敏感),如无机盐粉末、耐火材料、纤维等。
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所有样品,尤其是对温度敏感样 品,对覆膜颗粒度和附着力有要求的样品如电池隔膜、滤膜、各种生物样品等
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