hidenanalytical 英国海德 HPR-30 系列 真空质谱仪

　　英国HIDEN质谱仪、HIDEN气体分析质谱仪、HIDEN重量法吸附分析仪、HIDEN、HIDEN水分吸附仪、HIDEN终点检测仪、HIDEN探针

　　品牌介绍：

　　英国海德公司（Hiden Analytical Ltd.）是世界有名的质谱仪和重量法吸附仪的制造者。HIDEN公司成立于1981年，多年来，在客户中建立了良好的声誉，HIDEN的客户多数都是工作在新技术研究的前沿，如等离子体、表面科学。Hiden 的产品被用于真空分析、等离子表征、表面科学、气体分析、催化、吸附等研究领域。

　　主要型号：

　　QGA、HPR-20 QIC R&D、HPR-20 QIC R&D Plus、HPR-20 QIC EGA、TGA-MS、HPR-20 QIC TMS、HPR-40 DSA、HPR-60 MBMS、HPR-70、HPR-90、HPR-30、IG5C、IG20、HMT、HAL 201 RC、HALO 201 MBE、XBS、3F-PIC、EPIC

　　HPR-30系列

　　用于真空过程分析的残余气体分析系统

　　HPR-30 系列是残余气体分析系统，配置用于分析真空过程中的气体和蒸汽以及真空诊断，具有从高真空到大气压的采样能力。该系统可针对各种工艺应用进行完全配置，例如 CVD、ALD、等离子蚀刻、MOCVD、工艺气体纯度和工艺污染物监测。

　　概述

　　HPR-30 系列系统专为真空过程中的气体和蒸汽物质的快速响应高灵敏度分析而设计。应用包括泄漏检测、污染监测、工艺趋势分析以及 ALD 和 MOCVD 应用中使用的高质量物质和前体的分析。

　　采样配置如下：

　　具有双电导采样入口的HPR-30 推车具有紧密耦合的凹口，可直接在过程区域内采样，从而提供的数据完整性和过程状态的快速确认。

　　HPR-30 多入口推车，具有多个灵活入口、1m 长的三阀歧管连接，具有自动切换功能，可在广泛的过程压力范围内进行分析。

　　HPR-30 SGL具有单个加热采样管线，适用于采样连接工具空间有限以及分析不易挥发的反应产物需要完全加热的入口解决方案的应用。适合脉冲沉积过程监控的时间分辨数据采集作为系统选项提供。

　　选项包括创新的 Hiden 3F 系列三重过滤四极杆系统，提供增强的丰度灵敏度、十亿分之一 (ppb) 检测水平和高耐污染性，特别适合 CVD 和 RIE 应用中的腐蚀性气体分析。

　　特征

　　多功能可配置真空过程采样系统

　　质量范围选项 200、300、500 或 1000 amu

　　泄漏检测

　　工艺趋势分析

　　污染监测