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| 型号 |
BDS AMN 750 |
材质 |
铁 |
| 规格 |
10.0189-01-02 |
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BDISCOM SRL MILAN 是一家从事涂料工业领域的公司。
BDISCOM 是向等离子环境中的机器制造商供应战略组件的
BDISCOM 主要是一家制造公司,生产自己的直流低压和高压/电流、MF 40 kHz 和 RF -13.56 MHz 以及台式射频等离子体 反应器系列。
作为该领域公司的经销商,BDISCOM 还能够在全球范围内提供品质一流的发电机、电源和过程控制系统。
BDS AMN 750 自动匹配单元
BDISCOM 正在推出新一代自动匹配网络单元,其工作频率为 13.56 MHz 标准 ISM 频率,旨在供工业和实验室使用。典型应用包括溅射工艺、PECVD 沉积、等离子体激活、介电加热、激光激发等。
型号 BDS-AMN 750:基于额定电压为 3000 V 的可变气帽的自动匹配 | 高达 20 A。模拟用户端口引脚与 BDS.HF 200、300 和750 瓦发电机兼容。
BDS-AMN 750 是用于 HF (13.56 MHz) 等离子体应用的阻抗匹配网络,将负载的复阻抗转换为 50 欧姆电阻。调谐电路为L型,采用可变电容和精密定位电机。典型的调谐类型小于 2 秒。还提供用于中等阻抗负载的 TEE 配置。
可以进行多种完整预设或仅预设一个通道。也可以进行完全独立的操作,仅需要一个外部开关来调用点火位置。DC BIAS 测量电路可以监控 DC BIAS(缩放至 100 倍)。
与所有 Bdiscom 射频发生器直接连接。可选配单个匹配件(真空继电器)上的 3 通道射频输出。
BDS-AMN 750自动匹配规格见附件PDF:
CE 标志 - 意大利制造