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| 型号 |
EQP-6/EQP-9/EQP-20 |
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英国HIDEN质谱仪、HIDEN气体分析质谱仪、HIDEN重量法吸附分析仪、HIDEN、HIDEN水分吸附仪、HIDEN终点检测仪、HIDEN探针
品牌介绍：
英国海德公司（Hiden Analytical Ltd.）是世界有名的质谱仪和重量法吸附仪的制造者。HIDEN公司成立于1981年，多年来，在客户中建立了良好的声誉，HIDEN的客户多数都是工作在新技术研究的前沿，如等离子体、表面科学。Hiden 的产品被用于真空分析、等离子表征、表面科学、气体分析、催化、吸附等研究领域。
主要型号：
QGA、HPR-20 QIC R&D、HPR-20 QIC R&D Plus、HPR-20 QIC EGA、TGA-MS、HPR-20 QIC TMS、HPR-40 DSA、HPR-60 MBMS、HPR-70、HPR-90、HPR-30、IG5C、IG20、HMT、HAL 201 RC、HALO 201 MBE、XBS、3F-PIC、EPIC
等离子体研究系统
用于表征等离子体的高性能组合质量和能量四极杆质谱仪。
EQP-6 300 或 510 amu 质量范围，配备 6 mm 三重过滤四极杆质谱仪，适用于各种等离子体研究应用。
EQP-9 9 mm 三重过滤器四极杆系统，具有最广泛的可用质量选项。50 至 5000 amu 选项，用于高稳定性测量和离子簇分析。
EQP-20 采用 Hiden 的 20 mm 三重过滤四极杆，I 区/H 区可切换为 20 amu，0.003 amu 峰宽，以及 200 amu 质量范围和单位质量分辨率，用于氢同位素等离子体的表征。
Hiden 等离子体探头可测量一些关键等离子体参数，并提供与等离子体反应化学相关的详细信息。
详细了解等离子体离子和中性物质的反应动力学对于 HIPIMS 等先进表面工程工艺的开发起着关键作用。
集成电子轰击离子源可用于分析中性物质，并通过添加 EAMS（电子附着质谱）电子附着模式来分离和识别带负电的自由基物质。
所有 EQP 系列仪器均包含高透射率 45° 扇形场能量分析仪，用于分析高达 1000 eV 的正负离子能量。
EQP 系列配备集成 MCS——时间分辨率高达 50 纳秒的多通道标量数据采集，可在脉冲等离子体应用中实现快速数据采集。
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