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| 品牌 |
乐镤科技 |
型号 |
KW-4T |
| 加工定制 |
否 |
外形尺寸 |
210mm×280mm×155mm |
| 工作电压 |
220V |
测量范围 |
基片尺寸:Φ5-Φ100mm圆片 |
| 电源 |
220V50HZ |
重量 |
7.3Kg |
匀胶机 涂胶机
型号：KW-4T
KW-4T匀胶机（涂胶机）用于半导体硅片，载玻片，晶片，基片，ITO 导电玻璃 等工艺，制版的表面涂覆，具有转速稳定和启动迅速等优点，保证涂胶厚度的 一致性和均匀性。
技术参数及要求：
基片尺寸：Φ5-Φ100mm 圆片，Z大 100×100mm2方片
转速：250-9000RPM
旋涂设置：任意阶段之间均可任意升降调节
转速稳定性：<±1%
旋涂均匀性：<1%
旋涂工艺阶段：6 段
旋涂时间：单步工艺 0-1800s，可根据客户需求调节
整机尺寸（长宽高）：210mm×280mm×248mm
裸机尺寸（长宽高）：210mm×280mm×155mm
电机功率：40W
适应材料：硅片、玻璃、石英、金属、GaAs、GaN、InP 等各种材料
配套无油真空泵参数：
型号：KW-550A/KW-550T
抽速：1.5 升/秒
抽气速率：>60L/min
功率：320W
噪音：50db
Z低真空度：-700mmHg
重量：7.3Kg
尺寸(长宽高)：240mm×160mm×230mm
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