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BROOKS布鲁克斯质量流量计
SLM代表的含义是，标准升每分钟，标准状态是0℃ 一个标准大气压
SCCM是标准毫升每分钟，
现在这种单位，用作，微小气体流量计，以及控制器的流量单位，广泛应用于真空半导体行业
气体质bai量流量计为气体质量流量的检测提供了可靠du的解决方案，低流量敏感、快速zhi响应及dao量程比宽使得这款仪表成为许多重要气体应用领域的选产品、Steel-Trak传感器自动温度补偿温度和压力，使质量流量输出更加稳定可靠。它在气体测量方面的优势特别明显，尤其在压力小、气体成分复杂的情况下。它同其他流量计相比有着压力和温度损失小、量程比宽、小量程段灵敏等优点。
目前国际上气体流量测量比较可靠和测量准确度较高的流量计是采用质量流量计，其中较为成熟的是b布鲁克斯质量流量计和热式气体质量流量计。科式质量流量计有应用的障碍和难点。
BROOKS布鲁克斯质量流量计
工况流bai量和标况流量通常是在计量气体的时候会出du现，通俗的来讲，标况流量是zhi在流量计有温度压dao力补偿的情况下同时又有具体压力数的情况下计算出来。一般标况流量单位为Nm3/h，工况流量计计量单位为m3/h
美国BROOKS布鲁克斯公司热式质量流量计是为了满足有关工艺过程中对测量精度、重复性和控制方面的要求而设计的产品。
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