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| 品牌 |
nasgiken |
型号 |
SC-3100 |
| 重量 |
35 |
颜色 |
白 |
| 规格 |
456 |
应用 |
微量金属污染物 |
| 采样 |
采样液 |
系列 |
SC |
| 组成 |
2 |
产地 |
日本 |
| 包装 |
纸箱 |
|
简易型微量金属污染物采样设备（SC系列）
简易型微量金属污染物采样设备（SC系列）
简易型微量金属污染物采样设备（SC系列）
SC-3100
●通过与计算机联机，可选择丰富多样的采样模式，对晶圆正面以及端面的微量金属污染物进行采样操作。
●因为不太需要外部资源，也不太占地方，易于导入。
●采样操作由设备自动完成，无需熟练工就可轻松完成采样操作。
●采样液的供给和支架具的移动由设备自动操作，与SC-2000相比，可以减少由操作员引起的污染。
SC-8100
●具有对亲水晶圆污染物进行采样的功能、对于硅材质以外的晶圆、由于基体蚀刻等导致表面粗糙的晶圆也可进行采样操作。
●对于晶圆表面状态、采样液种类的要求不苛刻，另外，还可以对非重金属离子进行采样。
●当然，也可以进行传统的憎水采样操作。
SC-9100
●具有对亲水晶圆污染物进行采样的功能、对于硅材质以外的晶圆、由于基体蚀刻等导致表面粗糙的晶圆也可进行采样操作。
●对于晶圆表面状态，以及采样液种类的采样限制，本设备有所突破，另外，也可以对非重金属离子进行采样。
●当然，也可以进行常规的憎水采样操作。
●采样液的供给和支架具的移动由设备自动操作，与SC-8100相比，可以减少由操作员引起的
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