联系人：陈辉辉
邮箱：chenhuihui8000@163.com
电话：13923897656
地址： 广东深圳市宝安区松岗街道潭头第二工业城A30栋
| 型号 |
MKS-200VAC |
外形尺寸 |
1300x1350x1900mm |
| 标称阻值 |
4-8 |
允许误差 |
0.1 |
| 温度系数 |
30 |
额定功率 |
1000 |
| 产地 |
深圳 |
厂家 |
铭凯盛 |
一、产品介绍
2.1 产品概述
MKS-VAC200 真空等离子清洗机(Plasma cleaner)，气体通过激励电源离化成等离子态，等离子体作用于产品表面，清洗产品表面污染物，提高表面活性，增强附着性能。等离子清洗是一种新型的、环保、高效、稳定的表面处理方式。
2.2 产品优势
v 产品放置治具灵活多变，可适应不规则的产品。
v 水平电极设计，可满足软性产品处理需求。
v 低耗能、耗气产品。
v 便捷的收放板方式。
v 真空系统集成，占地面积小。
v 合理的等离子反应空间，使处理更均匀。
v 集成的控制系统设计，使操作更方便。
2.4 产品规格
| 真空等离子主机
| ||
|
设备尺寸
|
1300x1350x1900mm
| |
|
重量
|
500Kg
|
800KG
|
|
需求电源
|
AC380V，50/60Hz，5线，25A（总空开选型为C型以上）
| |
|
等离子发生器规格
| ||
|
电源功率
|
射频
|
中频
|
|
0~1000W
|
0-2000W
| |
|
电源频率
|
13.56MHz
|
40 KHz
|
|
真空系统
|
| |
|
真空泵
|
鲍斯双级旋片泵（油泵）：90m3/h+罗次泵
| |
|
真空管路
|
全不锈钢管路，以及高强度真空波纹管
| |
|
材质
|
铝合金
| |
|
厚度
|
25mm
|
|
|
密封性
|
级焊接密封
|
|
|
腔体内部尺寸
|
600×600×600mm（宽×高×深）
| |
|
电极板有效尺寸
|
550×560mm（宽×深）
| |
|
可用空间间距
|
28mm
| |
|
电极板布置方式
|
水平电极板
| |
|
工作托盘
|
标配一套，材质可选配(铝材、钢丝网）
| |
|
工作空间
|
8层
|
8层
|
|
工艺气体
| ||
|
流量范围
|
0~300SCCM
| |
|
工艺气体气路
|
标配两路，可定制。工艺气体管路为铁氟龙材质
| |
|
控制系统
| ||
|
系统控制
|
PLC
| |
|
交互方式
|
7寸触控屏幕
| |
13923897656