联系人：陈辉辉
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地址： 广东深圳市宝安区松岗街道潭头第二工业城A30栋
| 品牌 |
铭凯盛 |
型号 |
MKS-VAC100 |
| 货号 |
腔体100L |
类型 |
真空等离子 |
| 材质 |
铝件 |
产品用途 |
表面活化工艺 |
| 加工定制 |
是 |
外形尺寸 |
L1000×W900×H1750mm |
| 产品规格 |
有效腔体100L |
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| 真空等离子主机
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设备尺寸
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L900×W1150×H1750mm
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重量
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500Kg
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需求电源
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AC380V，50/60Hz，5线，25A（总空开选型为C型以上）
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等离子发生器规格
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电源功率
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射频
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中频
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0~600W
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0-1000W
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电源频率
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13.56MHz
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40 KHz
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真空系统
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真空泵
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飞越双级旋片泵（油泵）：60m3/h
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真空管路
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全不锈钢管路，以及高强度真空波纹管
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材质
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铝合金
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厚度
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25mm
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密封性
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级焊接密封
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腔体内部尺寸
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450×450×500mm（宽×高×深）
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电极板有效尺寸
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322×351mm（宽×深）
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可用空间间距
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20mm
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电极板布置方式
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水平电极板
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工作托盘
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标配一套，材质可选配(铝材、钢丝网）
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工作空间
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8层
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工艺气体
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流量范围
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0~300SCCM
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工艺气体气路
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标配两路，可定制。工艺气体管路为铁氟龙材质
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控制系统
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系统控制
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PLC
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交互方式
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7寸触控屏幕
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一、等离子体介绍
1.1 产品原理
通过对工艺气体施加电场使电离化为等离子体。等离子体的“活性”组分包括：离子、电子、原子、自由活性基团、激发态的核素（亚稳态）、光子等。等离子处理就是通过利用这些活性组分的性质进行氧化、还原、裂解、交联和聚合等物理和化学反应改变样品表面性质，从而优化材料表面性能，实现清洁、改性、刻蚀等目的。
一、规格要求
3.1 厂务规格要求
| 厂务规格要求
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交流电源规格
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电源：AC380V，50/60Hz，5线，25A（总空开选型为C型以上）
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厂务排气
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流量：2.0 m3/min
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厂务工作气体要求
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流量：1~10 L/min 压力：3~7 kg/cm2 管径：6×4 mm 材质：PU管 纯度：99.99%以上
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厂务压缩空气要求
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流量：1~10 L/min 压力：3~7 kg/cm2 管径：8×5 mm 材质：PU管 露点：-40℃以下 Particle＞0.3μm：10Pcs/ft3
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