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| 品牌 |
HITACHI |
测量精度 |
±1%读数或±0.1μm（取较大值） |
| 测定对象 |
表面铜、孔铜 |
仪器尺寸 |
180mm×85mm×35mm（主机） |
| 校准方式 |
多点校准/标准片校准 |
是否支持加工定制 |
是 |
| 准确度 |
±1%(±0.1μm)参考标准片 |
电镀铜测量范围 |
2.5μm-152μm |
| 测量速度 |
最快10次/秒 |
语言支持 |
中文/英文/日文/德文（可选） |
| 储存量 |
8000字节，非易失性 |
电源 |
12 |
| 数据导出格式 |
Excel/CSV/TXT |
分辨率 |
0.01μm |
| 测量范围（铜层） |
0-500μm |
探头类型 |
微型孔内专用探头 |
| 线形铜可测试线宽范围 |
203μm-6350μm |
探头线长 |
1.5m（高柔性屏蔽线） |
| 工作温度 |
0℃-40℃ |
探头直径 |
0.3mm-5mm（可选） |
| 测量面要求 |
孔内壁/孔口平面（铜层表面光洁度Ra≤1.6μm） |
防护等级 |
IP54（主机） |
| 标准片规格 |
5μm/20μm/50μm/100μm/200μm铜标准片 |
化学铜测量范围 |
10μin-500μin |
| 操作方式 |
手持式 |
|
15070717232