欧洲进口 Micro-Epsilon WDS-1000-P60-SR-I 传感器

??欧洲进口Micro-Epsilon WDS-1000-P60-SR-I 激光位移传感器产品介绍??
??1. 产品概述??
Micro-Epsilon WDS-1000-P60-SR-I 是一款 ??高精度数字式激光位移传感器??，采用 ??相位干涉原理??，专为 ??精密制造、半导体检测和科研测量?? 设计。该传感器可在 ??60mm量程?? 内实现 ??0.05μm分辨率??，适用于 ??超精密位移、振动和厚度测量??，满足 ??ISO 9001?? 和 ??VDI/VDE 2630?? 标准。

2. 功能特点??
1. ??纳米级测量性能??

??分辨率0.05μm??，线性误差±0.02% FSO（全量程）
??采样率50kHz??，可捕捉高频振动（如机床主轴径向跳动）
2. ??智能环境补偿??

??温度漂移<0.5ppm/°C??，内置实时温度补偿算法
??抗干扰设计??：环境光抑制>100,000 Lux，激光安全等级 ??Class 2M??
3. ??工业级可靠性??

??IP67防护??（防油污、防冷却液），抗振动 ??10g@20-2000Hz??
??不锈钢外壳??（316L），适用于 ??真空环境??（可选-UV版本）
4. ??灵活集成??

??数字输出??：RS422（EnDat 2.2）、EtherCAT（同步周期≤100μs）
??模拟输出??：±10V（16bit）可选，兼容PLC/PXI系统

3. 技术参数??
??型号：?? WDS-1000-P60-SR-I
??量程??： 60mm（可定制30-200mm）
??线性误差：?? ±0.02% FSO（±12μm）
??重复精度：?? ±0.005% FSO（±3nm）
??光斑直径：?? 10μm（最小可测边缘宽度50μm）
??工作距离??： 100mm（标准）
??激光波长：?? 670nm（红色可见光）
??电源需求：?? 24V DC ±10%（功耗≤8W）
??认证标准??： CE, RoHS, FDA 21 CFR

4. 产品尺寸与安装??
??尺寸（长×宽×高）??：65 × 45 × 30 mm
??重量??：280g（含线缆）
??安装方式??：
??M4螺纹孔??（前后/侧向固定）
??光学调整架??（标配±2°俯仰调节）
??线缆规格??：
标配2m PUR耐油电缆（可选5/10m）

5. 选型指南??
??基础型号??
??WDS-1000-P60-SR-I??：标准工业版（RS422+模拟输出）
??WDS-1000-P60-SR-E??：EtherCAT实时版（用于运动控制）
??WDS-1000-P60-UV??：紫外激光版（测透明材料如玻璃）
??选型要点??
??精度需求??：
亚微米级选 ??SR-I??，纳米级选 ??WDS-5000系列??（0.5nm分辨率）
??环境适应性??：
高温（>80°C）需选 ??HT版本??（耐温150°C）
??通信协议??：
半导体设备优先 ??EtherCAT??（同步触发更精准）

6. 应用领域??
??精密加工??：刀具磨损监测、镜面车削表面形貌分析
??半导体??：晶圆厚度/翘曲测量、光刻机平台校准
??新能源??：锂电池极片涂布厚度控制
??科研仪器??：原子力显微镜（AFM）位移反馈

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