| 型号 |
S9AT/SD-900C |
|
技术规格 参数
主机 300mm×360mm×380mm（W×D×H）
副机 300mm×360mm×140mm（W×D×H）
真空规 皮拉尼真空计
溅射靶 二极直流溅射靶 （标配）磁控靶（选配）
靶材尺寸 Φ50mm×0.1mm（D×H）
靶材 Au(纯度99.99%）
蒸发材料 碳纤维绳
样品室尺寸 160mm×120mm（D×H），硼硅酸盐玻璃
溅射面积 Φ50mm
蒸碳面积 140mm
高真空度 ≤4×10-2mbar
溅射大电流 50mA （磁控靶100mA）
热蒸发大电流 100A
溅射定时器时间 0-360s
热蒸发时间 0-1s
微型真空气阀 可连接φ3mm软管
可通入气体 多种
溅射高电压 -1600DCV
热蒸发高电压 28V
电源 220V AC,50Hz接地三脚插头
机械泵 2L/S
重量 40Kg
17316172135