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美国品牌：雄司TOI-O-MATIC,杜步林DEUBLIN,伊顿威格士VICKERS,阿托斯ASCO,PARKER等。
德国品牌：博世力士乐REXROTH等
| 型 号
| 8324 |
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检测对象气体
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半导体材料气体（胂、膦、、硅烷、氢气等）
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检测原理
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热线型半导体式
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采样方式
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自动吸引式
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检测气体名称
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磷烷 硅烷 氢气 AsH3 PH3 B2H6 SiH4 H2
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可检测小浓度 （单位：ppm）
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0.2 0.3 0.1 0.5 1.0
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检测表示
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蜂鸣器断续鸣响及指示灯闪烁
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应答速度
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10秒以内
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尺寸
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W38×H130×D30mm
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重量
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190克
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