意大利BDiscom BDS-MF10KW2E-V2电脉冲发生器

所有价格仅为仓库奥，实际价格请直接联系我！

深圳市普索进出口有限公司

【询价=品牌+型号+数量+联系电话/微信/QQ】

陈经理

Tel：133 1650 6344（微信同号）
QQ：2853578134
E-mail：chenlin@pousoo.com

BDS-ARC发生器
最可靠的高性能发生器，适用于高效率 (> 90 %) 的大电流 CAE 过程

BDS-ARC 150 /250 电弧沉积发生器

简介： BDS-ARC150/250 是一款输出高达 150 或 250 A 的直流发电机，专为 CAE 源设计。该系统采用紧凑轻便的 19 英寸外壳。

BDS-ARC150/250 的设计考虑了典型的系统集成商需求。

一些亮点：

该单元仅 178 毫米高。单个机柜中最多可安装 6 个单元，从而节省空间和安装成本。

在典型的应用中，使用 220A/20V 的矩形 CAE 源，总功耗仅为 400W。

灵活的接口。提供 Profibus（选项）、RS232 和模拟用户端口。

冷却系统采用高效超大散热器和风扇变速控制。该装置可以在 40°C 的全功率温度下不间断地运行。

可应要求提供集成在装置中的非接触式点火模块。

在 1-50 Hz 频率范围内提供电流输出调制选项（双电流设定点）

北斗中频发生器
适用于任何高/低压（3kV 至 7kV）PECVD 和 PVD 工艺的最新且最具价格竞争力的中频发生器

BDS-MF 5 - 10 - 15 kW @ 40kHz，高|低电压交流等离子体发生器

BDS-MF 是一款 40 kHz 等离子体发生器，最大功率为 5、10 或 15 kW，专为 PECVD 或等离子体清洁应用中的等离子体激发而设计。该装置能够在 7000V RMS 输出下提供高达 10kW 的功率。

输出为平衡型，可驱动2个对称电极。典型应用是大型工艺室的 PE-CVD 工艺。一个独特的功能是内置 2 个（标准）或 3 个（根据要求）变压器抽头的高压匹配变压器可用作阻抗匹配。

用户只需将两根同轴电缆连接到电极上。与用户 PLC 的接口可以是模拟或数字 RS232 或 Profibus（根据要求）。

亮点和好处：

内置输出匹配变压器，无需外接盒。

风冷机组。没有与潮湿或漏水相关的风险。

全功率，环境温度高达 40C°。

模拟接口。

可根据要求提供 Profibus 接口。

前面板显示屏使安装和故障排除更容易。

高效率>90%。

结构紧凑轻便，仅重 20kg，4UI。

BDS HF 200 - 300 - 750 黑盒系列
新一代极具价格竞争力和高效率的 200、300 和 750 瓦 13.56 MHz 黑匣子射频发生器

BDS HF 200 - 300 - 750 黑盒系列

BDISCOM 推出了新一代中低功率射频发生器，旨在满足实验室级和小型低压工业等离子系统的需求。

型号 BDS.HF 200-300-750.BB，黑盒式，仅带有模拟 0-10 VDC 端口。

中低功率黑匣子系列由一台 200、300 或 750 W @ 13,56 MHz 输出功率的单元组成，采用黑匣子配置，仅带有模拟用户端口，0-10 VDC A/D 接口。主 230 VAC 由与发电机一起提供的外部电源提供。

BDS HF Black Box (BB) 发生器的常见规格： BDS HF 系列是 E 级电路，典型效率为 85-90%。

输出功率通过作用于直流母线的 PWM 电路进行调制

CE 标志 - 意大利制造

BDS HF 200 - 300 - 400 - 750 有源前面板系列
新一代极具价格竞争力和高效率的 200、300 和 750 瓦 13.56 MHz 有源面板射频发生器

BDS HF 200 - 300 - 750 有源前面板系列

BDISCOM 推出了新一代中低功率 HF 发生器，旨在满足实验室级和小型低压工业等离子系统的需求。

型号 BDS.HF 200-300-750.AFP 200、300、400 和 750 W，有源前面板，直接调谐器接口。

中低功率 AFP（有源前面板）200、300 或 750 瓦系列是一种 1?2 机架安装式发电机，具有直接调谐器控制和带有 LCD 触摸屏显示的 AFP 可选择功能和一个旋钮编码器用于微调参数。可根据要求提供友好的用户界面软件和 RS 232-Profibus 接口。该装置还可以配置为驱动 2 个自动匹配网络作为选项。

有源前面板 (AFP) 发生器的常见规格：BDS HF 系列是 E 级电路，典型效率为 85-90%。

输出功率通过作用在直流总线上的 PWM 电路进行调制。

CE 标志 - 意大利制造

BDS AMN 750 射频自动匹配网络
BDS AMN 750 射频自动匹配网络

BDS AMN 750自动匹配单元

BDISCOM 正在推出以 13.56 MHz 标准 ISM 频率运行的新一代自动匹配网络单元，用于工业和实验室用途。典型应用包括溅射工艺、PECVD 沉积、等离子体激活、电介质加热、激光激发等。

BDS-AMN 750 型：基于额定电压为 3000 V 的可变空气帽的自动匹配 | 高达 20 A。模拟用户端口引脚与 BDS.HF 200、300 和750 瓦发生器兼容。

BDS-AMN 750 是一种阻抗匹配网络，用于 HF (13.56 MHz) 等离子体应用，将负载的复阻抗转换为 50 欧姆电阻。调谐电路为L型，采用优质可变电容和精密定位电机。典型的调谐类型小于 2 秒。此外，还提供适用于中等阻抗负载的 TEE 配置。

可以进行范围广泛的完整预设或仅一个通道的预设。也可以完全独立操作，只需要一个外部开关即可调用点火位置。DC BIAS 测量电路允许监控 DC BIAS，比例为 100。

与所有 Bdiscom 射频发生器直接连接。一个可用的单个匹配（真空继电器）上的 3 通道 RF 输出作为选项。

BDS-AMN 750 自动匹配规格见附件 PDF：

BDS SP 500 直流溅射电源
BDS SP 500 直流溅射电源

用于直流溅射工艺的 Bdiscom 电源。500 瓦 FS

具有快速电弧检测 (< 200 nSec) 和数字接口的极具价格竞争力的直流电源。适用于中小型研发和工业溅射工具。

用于溅射工艺的 Bdiscom 直流电源。

高效率、高可靠性和市场上最具吸引力的价格。

一些亮点：
500 瓦 FS（1000 伏输出），配备用户友好的有源触摸屏显示器 (AFP)。

电源要求：230V - 1PH±10%

重量：约5公斤

尺寸：132.5 x 241 x 400（毫米）

调节方式：功率、电压、电流

最大功率输出：500 瓦特FS

输出电压：最大 1000 伏直流电

输出电流：1 安培

电弧处理检测 lt; 200 纳秒

接口：A/D，包括 RS 232（Profibus 选项）

冷却：强制空气

工作温度：5-40℃

效率 > 90 %

显示：触摸屏240x128像素

根据 EN 55011 的 EMC 分类：

这是一种 ISM（工业科学医疗）设备，符合 EN 55011 第 2 组 A 类标准。

BDS SP 3、6 和 12 溅射电源
BDS SP 3、6 和 12 溅射电源

用于直流溅射工艺的新型 Bdiscom 电源系列。三个范围可供选择：

* 3KW FS, 1000 Volt FS, 6 Amps 最大输出

* 6KW FS, 1000 Volt FS, 12 Amps 最大输出

* 12KW FS, 1000 Volt FS, 25 Amps 最大输出

电弧检测 (< 200 nSec) 和数字接口。适用于中端研发和工业直流溅射工具

用于溅射沉积的新型 Bdiscom 直流电源。

一些亮点：

* 所有装置均配备用户友好的主动式触摸屏显示器

* 点火电压高达 1,1 kVolt

* 电弧检测 DV/DT 关闭时间 < 1mSec

* 冷却空气

电源要求：400VAC - 3PH 50Hz (±10%)

最大功率输出：3、6 和 12kw FS

最大电压输出：1000 Volt FS

最大电流输出：6、12 和 25 安培

点火：1,1 KVolt

电弧检测器 lt; 200 纳秒检测，< 1 毫秒 DV/DT 关闭时间

效率 gt; 90 %

显示：触摸屏240x128像素

调节模式：功率/电压/电流（可选）

冷却：空气（强制）

接口：RS 232 - Profibus - A/D（Profibus 选项）

工作温度：5-40℃

尺寸：19”机架 - 4HU

根据 EN 55011 的 EMC 分类：

这是 ISM（工业科学医疗）设备，符合 EN 55011 第 2 组 A 类标准。

BDS GLOW 3000/6000 发电机
用于辉光放电过程的带有 AFP（触摸屏有源前面板）的新型高压直流发生器

新型 BDISCOM 高效 (90%) 高压直流电源，可用于任何研发或工业真空等离子系统。

新的 BDS Glow 用于获得非常稳定和可靠的 HV DC 等离子体，以便在涂层工艺之前清洁或蚀刻基板。

与大多数新的 BDISCOM PSU 系列一样，它配备了用户友好的触摸屏有源显示器和一个编码器，以最大限度地提高参数设置、分辨率和微调。