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| 名称 |
超声波扫描显微镜 |
型号 |
UTScan400 |
| x轴扫描精度 |
±0.5um |
x轴最大扫描速度 |
1500mm/s |
| 扫描范围 |
400mm*400mm |
扫描 |
双通道（C、T同时扫描） |
| 检测频率 |
500MHz |
震幅 |
400-100 |
| 缺陷间隔 |
0.1 |
最小缺陷面积 |
0 |
| 是否包含无数据 |
否 |
|
15033390081