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AWM3000系列微桥气体质量流量传感器
AWM3000系列微桥气体质量流量传感器
常用型号：
AWM3100V
AWM3150V
AWM3200V
AWM3300V
描述 ：
与 AWM2000 系列类似，AWM3000 系列也通过双惠斯顿电桥控制气流测量。该系列产品有放大，因此可提高增益和调节传感器输出电压偏移。传感器内装配的放大电路。此外，该系列传感器内还装配有发热控制电路和传感桥供电电路
特点
● 激光校准，互换性更高
● 测量流速可达 1.0 SLPM
● 微差压传感
注 ：
1. 信号调理电路的初始预热时间长为 1 分钟。
2. 输出电压随电源电压成正比变化。
3. 差压器件的温漂主要由气体浓度随温度变化而引起。见应用指南 1。
4. 为避免损坏，大允许流量变化率为 5 SLPM/1 sec。
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