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| 型号 |
PSVH30-005U |
测量精度 |
0.05 nm |
| 最大测量高度 |
7 μm |
长度 |
30mm |
| 工作温度 |
-20~+80 ℃ |
用途 |
表面测量技术、光纤端面检测、半导体技术 |
| 装箱数 |
1 |
加工定制 |
是 |
| 外形尺寸 |
30 × 30 × 24 mm |
重量 |
70 g |
| 厂家 |
上海纳动纳米位移技术有限公司 |
|
产品描述
PSVH30-005U为Z向直驱压电平移台，采用压电陶瓷直驱机构的设计原理，具有体积小、无摩擦、响应速度快等特点，配置高精度传感器，可以实现纳米级分辨率、定位精度具有较高的可靠性，压电平移台在精密定位领域中发挥着重要的作用。
底部平台固定安装孔可选择M3螺纹孔，便于用户方便安装，订购时需要指出。默认版本的平台固定孔为直径2.2通孔。
本系列产品形行程范围为5μm（闭环）。
产品特性
—单轴运动
—运动可达5μm（闭环）
—承载0.8kg
—Z轴紧凑型设计
选配功能
—可定制安装、负载固定孔位及转接装置
—可选PZT&Sensor连接器及线缆长度
—可选配闭环(SGS) 位置反馈系
—可提供XZ、XY和XYZ版本
应用领域
—纳米压印、纳米计量、纳米光刻
—原子力显微镜、扫描电镜
—生物技术、干涉测量
—表面测量技术、光纤端面检测、半导体技术
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