辽宁差压式液体流量计5911D4
辽宁差压式液体流量计5911D4

辽宁差压式液体流量计5911D4

价格 9,960.00
起订量 10㎡
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品牌 GRYLLS
型号 热式
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质量流量控制器

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产品详情
品牌

GRYLLS

型号

5920DD4

货号

GRY310MC

原理

质量流量计

用途

气体流量计

公称通径

8mm

工作温度

0-100

测量范围

0-1000SCCM

精度等级

1%RD

测量精度

1%RD

安装形式

软管连接

重量

1

规格

差压

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  质量流量控制器用于对气体的质量流量进行精密测量和控制。它们在半导体和集成电路工业、特种材料学科、化学工业、石油工业、医药、环保和真空灯多种领域的科研和生产中有着重要的作用。其典型的应用场合包括:电子工艺设备,如扩散、外延、CVD、氧化、等离子刻蚀、溅射、离子注入;以及镀膜设备、光纤熔炼、微反应装置、混气配气系统、毛细管测量、气相色谱仪及其他分析仪器

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主要技术指标

  1

  

  量程范围

  

  (0~5,10,20,30,50,100,200,300,500...)SCCM

  (0~1,2,3,5,10,50,100,200,500...3000) SLM

  

  2

  

  准确度

  

  ±1%F.S ±0.5%F.S

  

  3

  

  线性

  

  ±0.5~1.5%F.S

  

  4

  

  重复精度

  

  ±0.2%F.S

  

  5

  

  响应时间

  

  电特性:10sec 气特性:(1~4)sec

  

  6

  

  工作压差

  

  0.1~0.5MPa

  

  7

  

  耐压

  

  3MPa

  

  8

  

  工作环境温度

  

  0~70℃

  

  9

  

  数字量

  

  RS485 MODBUS协议

  

  10

  

  模拟量

  

  DC 0~5V ,4~20mA 可选

  

  11

  

  供电

  

  DC +15V/24V 可选,流量计<400mA,控制器<600mA

  

  12

  

  电气连接

  

  DB15

  

  13

  

  漏率

  

  1×10-8SCCSHe

  

  14

  

  底座材质

  

  316L不锈钢

  

  15

  

  密封材质

  

  氟橡胶,丁晴橡胶,氯丁橡胶

  

  16

  

  气路接头

  

  Φ3,Φ6,Φ10,1/8〞,1/4〞,3/8〞

  

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  气体质量流量控制器的精度、坚固性及可靠性源于我公司独特的传感器探头。该密封探头由两传感元件组成──速度传感器及温度传感器,能自动校正温度及压力变化产生的影响。仪表电路将速度传感器加热到高于气体温度的一个常数值,然后测量气体流量的冷却效果。通过测量保持恒定温差所消耗的电功率与气体的质量流量成正比的原理计算流量。两传感器均为标准级白金电阻温度探测器(RTD)。白金RTD 丝缠绕在坚固的陶瓷芯轴上,牢固且可靠。整个传感器密封在316 不锈钢包装壳内。

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  传感器是将一种物理量经过电路转换成一种能以另外一种直观的可表达的物理量的描述。本文对传感器的概念、原理及特性进行逐一介绍,进而解析传感器设计的要点。传感器的概念传感器是一种检测装置,能感受到被测量的信息,并能将感受到的信息,按一定规律变换成为电信号或其他所需形式的信息输出,以满足信息的传输、处理、存储、显示、记录和控制等要求。它是实现自动检测和自动控制的首要环节。传感器的工作原理传感器工作原理的分类物理传感器应用的是物理效应,诸如压电效应,磁致伸缩现象,离化、极化、热电、光电、磁电等效应。

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