| 品牌 |
FH方恒 |
型号 |
FH413A05 |
| 货号 |
FH413A05001 |
材质 |
钛合金 |
| 输出信号 |
模拟信号 |
制作工艺 |
MEMS微机电 |
| 测量介质 |
固体 |
测量物理量 |
振动加速度 |
| 测量范围 |
±2-50g |
精确度 |
0.1 |
| 灵敏度 |
400 |
工作温度 |
-40——120 |
| 额定电压 |
24 |
脉冲频率 |
0-500 |
| 重量 |
26 |
加工定制 |
是 |
| 是否进口 |
否 |
产地 |
陕西 |
FH413A05 MEMS三轴加速度传感器说明书
一、简介
FH413A05 MEMS三轴加速度传感器由我公司自行研制，用于测量加速度的传感器。它采用低功耗、高精度、低噪声MEMS芯片，具有 BIMOS 信号限制电路。设计考虑多用户的需求，制造采用表贴工艺技术。具有低功耗、高可靠性和高封装坚固性，并具自检测（Self-Test）等功能，可实现自检测。
本产品可用于汽车测控、惯性导航、飞行器安全系统、地震监控、 倾斜、速度和位置的惯性、振动和冲击试验台加速度的测量等系统中。
二、原理
FH413A05三轴加速度传感器是建造在硅晶片顶部的表面 MEMS 多硅结构。多晶硅簧片悬浮在晶片表面的结构，并提供一个克 服加速度感应力的阻力。用包含两个独立的固定板和一个与运动质块 相连的中央板形成的差动电容器机构来测量比例于加速度的多硅结 构的偏转，从而产生电压输出信号。
三、技术条件
| 性能
|
FH413A性能
| |||||
|
Ax ，Ay ，Az
| ||||||
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测量范围（ g）
|
±2
|
±4
|
±5
|
± 10
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±20
|
±40
|
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灵敏度（mV/g）
|
1000±50
|
500±50
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400±30
|
200±20
|
100±10
|
50±5
|
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带宽（10%，Hz）
|
0～500
| |||||
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零 g 偏置电压（V）
|
2.5±0.05
| |||||
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满量程输出（V）
|
0.5-4.5
| |||||
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零偏温度变化（mg/ °C）
|
±0.2~ ±0.8
| |||||
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交叉轴影响（%）
|
≤2
| |||||
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非线性度(％F.S)
|
≤0.1
| |||||
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噪声密度（ug/ √Hz）
|
20~80
| |||||
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供电要求
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供电电压(VDC)
|
12±0.5
| |||||
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输入电流（mA）
|
≤20
| |||||
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工作环境
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| 使用温度（。C）
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-45～+85
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抗冲击（ g）
|
5000
|
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重量、体积
| |
|
重量(g)
|
≤20
|
|
体积（mm3 )
|
21.6×21.6×12.4
|
四、接线端子定义
| 引线号
|
1
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2
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3
|
4
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5
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6
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颜色
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红
|
黑
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蓝
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黄
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白
|
屏蔽
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|
定义
|
12v
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GND
|
Ax
|
Ay
|
Az
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壳体地
|
13720610110