联系人:钱云蕾
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本公司低价转让一批日本SPEEDFAM 双面抛光机,型号:20B 21B 24B 28B
国产品牌:广州环宇/兰州瑞德 型号:9B 13B 15B,有意者请联系钱
1. 设备用途及特点
1.1. 1、本设备可用于蓝宝石、硅片、陶瓷片、光学玻璃、其它半导体材料等非金属和金属的硬脆性材料薄形精密零件的上、下平行端面的同时磨削及抛光。
1.2. 2、创新是设计的基本理念,本设备在设计时认真分析和比较了国内外同类设备的结构、控制和功能特点,综合、归纳并采用了众多用户的成功经验和合理建议。着力提高设备的技术含量、运行精度和运行平稳性。
1.3. 3、采用上下磨盘双变频电机独立驱动,上盘转速可调节,使整机工作时起动平稳、运转稳定,尤其在低速运转时,克服了上、下研磨盘的窜动、爬行象。 4、太阳轮由变频电机独立控制,可以通过软件调节行星轮公转及自转速度,彻底和下盘电机分离,非常适合客户进行多种工艺的选择要求。 5、内齿圈、太阳轮及行星轮采用渐开线齿形的柱销结构,增加了行星轮的强度,并且减少内齿圈及太阳轮的磨损、方便维护。内齿圈及太阳轮安装了专用的同步升降机构,方便客户对内齿圈及太阳轮高度进行同步调整。 6、整机主要受力齿轮采用强化齿轮,并且通过严格的调制和淬火处理,各受力传动零件的强度与刚性较大提高。上盘自重800KG加压1200KG。同时,也减少整机嗓音和震动。 7、专用设计的简易式减速机更换结构,可以方便客户依据产品选择不同减速比的减速机,可以依据客户产品定制特殊要求转速产品。 8、采用德国西门子PLC程序控制器,控制整机的动作,实现研磨盘分独立控制的十六个阶段,每个阶段的压力、转速均可以平稳的逐步增减调节,自动化程度高,并由与之匹配的大屏幕作界面,显示当前整机状态,实现人机对话,操作一目了然。 9、主气缸安装交叉式铰链锁紧机构,可方便、安全锁定上研磨盘。 10、传动齿轮自由动加油泵定时集中润滑,维护简单,使用寿命长。 11、标准五电机配置方案,完全实现了上研磨盘、下研磨盘、太阳轮、内齿圈和太阳轮内齿圈同步升降的独立控制,互不干扰。客户在实现各种复杂工艺时更加得心应手。



