联系人：钱云蕾
邮箱：2451555074@qq.com
电话：15112732962
地址： 广东东莞市茶山镇增步村麒麟城工业区新益大厦
| 型号 |
OTFC1-300 |
类型 |
光学仪器 |
| 设备所在地 |
东莞 |
设备生产产地 |
东莞 |
| 重量 |
约9000kg |
厂家 |
宏诚光学 |
产品名：OTFC-1300
型 式：1300
产品参数：
真空室 SUS304,Ф1300×1610mm(H)
工件架 Ф1130mm
工件架转速 10rpm to 50rpm(可变)
光学膜厚控制 350nm to 1100nm反射式/透射式
水晶式膜厚计 XTC/3+6点式水晶传感器
蒸发源 电子枪2套
离子源 17cmRF离子源
排气系统 机械泵2个扩散泵Polycold（或2个冷凝泵）
性能
达到压力 7.0×10-5Pa以下
排气时间 15分（大气压～1.3×10-3Pa）
基板温度 ：350℃
工作条件
设备尺寸 约5000mm(W)×6500mm(D)×3500mm(H)
电源 3相,200v,50/60Hz,约104KVA
水流量 140升/分以上
空气压力 0.5MPa以上
重量 约9000kg
详情欢迎来工厂看机
地 址：广东东莞市茶山镇增卢路新益大厦（集友工业村对面）
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