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| 设备主体 |
花岗岩，低热膨胀，低重心，自隔震 |
横轴分辨率 |
高至0.1um |
| Z方向线性度 |
±0.25％(样品厚度>2000A);5A(样品厚度≤2000A) |
X测定速度可调 |
5μm~2mm/s |
| 气源 |
空压机 |
粗度规范对应 |
可对应各种国际新旧标准规范，测量参数多达60种；可测量台阶及倾斜度。 |
| 传感器 |
高精传感器 |
纵轴分辨率 |
高至0.1nm |
| X方向测量长度 |
大至100mm |
电机 |
伺服电机 |
| 精度 |
咨询客服 |
台阶测定重复性 |
1σ0.2nm以内,但实际可达0.1nm |
| 形状 |
台式 |
颜色 |
蓝色 |
| 样品台的垂直直线度保证 |
局部0.005um/5mm、全量程0.2um/100mm |
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13851507674