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| 型号 |
SB-2TH-M |
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SB系列的特点
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高精度
我们以高精度测量和分配光刻胶和其他化学溶液。 为了优化光刻胶滴落量,提高了每次注射的分配精度,并安装了回吸(可选)以防止光刻胶从放电端掉出。
波纹管内部的死体积非常小,该结构可防止液体停滞。 无密封结构和低速气缸的使用使光刻胶能够低速注入光刻胶并防止空气进入光刻胶。
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轻巧紧凑的设计
该泵可以以立式或卧式方式安装(SB-4K/5/6除外),并且可以选择佳形状进行系统集成。 紧凑的设计还为外围设备释放了空间。
此外,还提供带有机械塞子的气瓶,该气缸可通过单个泵控制细微的排放量,以及带有传感器的气瓶,该传感器可以可靠地检查操作。
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不锈钢和含氟聚合物
不锈钢(SUS304)和氟树脂(PTFE、PFA)类型可作为接液材料。 它具有优异的耐腐蚀性,不会污染液体,并且对于高分辨率、高纯度的光刻胶等液体质量控制是安全的。