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| 电源 |
220 |
品牌 |
华师特 |
| 可检最大料盘高度 |
1-80mm |
空间分辨率 |
30μm |
| 取像方式 |
平板数字成像 |
像素精度 |
≤2μm |
| 辐射安全测试 |
<1 uSV/H |
准确率 |
99.99%（0201为例） |
| 可检最大料盘直径 |
415mm（4-15INCH） |
成像尺寸 |
427*427mm |
| 点料速度 |
6-10 S/4盘（CHIP 0201） |
辐射安全许可证 |
有：粤环辐证[B0640] |
| 功率 |
1200W |
平台运动方式 |
自动 |
| 光管电压 |
50kV (限制80kV) |
成像精度 |
139μm |
| 分辨率 |
3072*3072px |
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13600190079