联系人：何汉英
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| 型号 |
SuperView W |
类型 |
白光干涉仪 |
中图仪器在微纳米运动设计制造、微纳米显微测量三维重建、显微测量3D形貌分析等众多技术领域有设计、制造优势，从纳米到百米，能为用户提供的精密测量解决方案！
中图的3d光学轮廓仪检测仪器以白光干涉技术为原理，结合3D建模算法以及精密Z向扫描模块，主要用于对精密器件及材料表面进行非接触式扫描亚纳米级测量，并建立表面3D图像。
基本参数
产品型号：SuperView W1系列
产品名称：光学3D表面轮廓仪
影像系统：1024×1024
光学ZOOM：0.5×，（0.75×，1×可选）
干涉物镜：10×，（2.5×，5×，20×，50×，100×可选）
XY平台：尺寸320×200mm，行程140×110mm，电动、手动同时具备，均为光栅闭环反馈
Z轴行程：100mm，电动
Z向扫描范围：10mm
Z向分辨率：0.1nm
可测样品反射率：0.05%-100%
水平调整：±5°手动
粗糙度RMS重复性：0.005nm
台阶高测量：准确度0.3%，重复性0.08% 1σ
主要特点：非接触式无损检测，一键分析、测量速度快、效率高
产品功能
1、测量中提供拼接测量功能。
2、测量中提供批量测量、自动多区域测量功能、自动调亮度等自动化功能。
3、一体化操作的测量以及分析软件，报表自动导出功能，快速实现批量测量功能。
4、分析中提供提取、滤波、纠正、调整位置四大模块的数据处理功能。
5、分析中提供功能分析、频率分析、结构分析、几何轮廓分析、粗糙度分析等5大分析功能，同事提供一键分析和多文件分析等辅助分析功能，设置分析模板，结合测量中提供的自动测量和批量测量功能，可实现对小尺寸精密器件的批量测量并直接获取分析数据的功能。
以白光干涉技术为原理的中图3d光学轮廓仪检测仪器，可广泛应用于半导体制造及封装工艺检测、汽车零部件、光学加工、微纳材料及制造、3C电子玻璃屏及其精密配件、MEMS器件等超精密加工行业及航空航天、科研院所等领域中。
可测各类从超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物体表面，从纳米到微米级别工件的粗糙度、微观几何轮廓、曲率等，提供依据ISO/ASME/EUR/GBT四大国内外标准共计300余种2D、3D参数作为评价标准。获取报价详情请电议，或者访问中图仪器与我们取得联系。
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