TC-Wafer校准仪 快速退火炉温场均匀性校准仪

　　TC-wafer校准仪是一款应用于晶圆温场均匀性实时测量校准的仪器设备,并能生成报告。

　　产品特点：

　　支持最多20路实时测量晶圆温度；

　　温度均匀性实时曲线图和数值显示；

　　采集数据Excel表格导出，并生成报表；

　　晶圆温点分布直观显示并自动生成校准报告；

　　可快速更换TC-wafer及自定义功能;

　　大屏高分辨率显示；

　　数据最多采集10次/秒；

　　65瓦Type-C快速充电；

　　内置大容量电池，使用可达4小时；

　　10000条数据存储量；

　　支持多种传输方式，如U盘、蓝牙、无线网络；

　　便携一体化设计；

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　　产品应用:

　　RTP设备生产厂家

　　使用RTP设备客户

　　TC-wafer生产厂家

　　其他晶圆热处理设备