细分盒的REE范围为更低等级的信号细分提供简单的“即插即用”解决方案,使数字方波输出信号的分辨率提高了20倍。
REE的三个模式,设计初衷是用于雷尼绍的钢带光栅系列,目前经过验证也可用于RLE。
英国雷尼绍RENISHAW 细分和REE0100E10B REE0100A10A
平面镜系统性能
| REE模式 | REE订货号 | 分辨率 (nm) | 速度 (mm/s) |
|---|---|---|---|
| REE100 | REE0100A20B | 1.582 | 17.7 |
| REE200 | REE0200A20B | 0.790 | 8.8 |
| REE400 | REE0400A20B | 0.395 | 4.4 |
角锥反射镜系统性能
| REE模式 | REE订货号 | 分辨率 (nm) | 速度 (mm/s) |
|---|---|---|---|
| REE100 | REE0100A20B | 3.164 | 35.4 |
| REE200 | REE0200A20B | 1.582 | 17.7 |
| REE400 | REE0400A20B | 0.791 | 8.8 |
给定的系统速度包括25%的安全余量。
速度值取决于75%的信号强度。