| 型号 |
外延最终清洗机 |
用途 |
工业用 |
| 加工定制 |
是 |
外形尺寸 |
6000 (W) x 1800 (D) x 2100(H) mm |
| 产地 |
苏州 |
厂家 |
苏州清芯卓半导体设备有限公司 |
清芯卓外延最终清洗机
晶片规格：
2-12〞单、双cassette
主要材料:
金属骨架+PP/PVC壳体，槽体材质PP/PVDF/PTFE
/石英
工艺槽功能：
循环过滤+加热冷却+供液
基础工艺流程:
药液槽→QDR→-------QDR→IPA（可增减）
设备类型：
手动/半自动/全自动（定制）
Footprint : 6000 (W) x 1800 (D) x 2100(H) mm
15370062558