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地址： 陕西西安市陕西省西安市西咸新区空港新城中南高科西安临空产业港7号楼2单元
| 品牌 |
半自动显影机 |
型号 |
M+D150-1 |
| 货号 |
M+2021320 |
类型 |
匀胶机 |
| 材质 |
镜面不锈钢、镜面方钢 |
产品用途 |
晶圆涂胶、显影 |
| 加工定制 |
是 |
外形尺寸 |
800×800×1700mm |
| 产地 |
陕西 |
|
半自动显影机，用于可显影晶圆基板尺寸：：150 mm兼容 100 mm晶圆，厚度为0.5—3mm基片基片显影、定影、清洗工艺。该设备主要由主轴单元、显影液供给系统、清洗系统、控制系统等组成，采用框架结构，外表为不锈钢镜面护板，无发尘量且不吸浮尘颗粒，工作方式为手动上下片，自动完成显影、清洗等工艺。为适应基片显影，显影工艺腔体为多层气液分离结构；主轴电机采用进口交流伺服电机，保证旋转转速、加速度控制精度高，重复性、稳定性好。多件套组成的防溅、废液收集、气流控制，使显影工艺条件达到效果。为保证人身安全，这些防溅杯（罩）等部件均用一定强度的金属材料制成。有两路路供显影液系统，一路清洗液，液体的配置根据工艺要求可选配。控制系统由编程控制器+触摸屏组成，动态画面人机交互，显示设备运行过程中各工艺功能执行情况；工艺参数数字，用户使用分等级、严重紧急情况、超限报警；自由编制、修改、编辑、储存、调用工艺程序；故障、生产工艺参数等
可长期保存备查；操作简便，故障提示导寻，维修便利。胶厚为0.5μm经曝光片内不同位置相同图形的均匀性：≤±1μm；片间相同位置相同图形均匀性为：≤±5%，显影10片晶圆，每片测9点的线宽值，计算显影均匀性。
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