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542 系列 激光全息光栅式测微仪
LGH ( 0.01μm 分辨力、 0.005μm 分辨力 ）
? 在 10mm 的宽范围内实现了与激光干涉仪
相同的 0.005μm 或 0.01μm 的高分辨力和高
精度。
? 紧凑性的机身使得装置本身小型化，不仅
可以作为高精度零部件的测量以及高精度
定位 · 控制装置长度测量的传感器，还适用
于作为各种测量机的标准规。
? 也具有低测力规格产品 ：根据用途可以选
择低测力规格，可以测量易变形工件和高
性能胶片等。
? LGH 系列是与专用计数器的组合规格。
测微头 542-715LGH-1010-B-EH：
? 新型号采用光电式反射型线性编
码器，在低价格下实现了 0.01μm
高分辨率，指示精度 0.2μm ，测
量范围 10mm 的宽范围。
? 响应速度与以往产品相比提高了
2.8 倍 ( 250mm/s ? 700mm/s ) ，兼
顾了高精度和高速度。
测微头542-720LGH-0510-B-EH
? 装配新开发的超高精度透射型线
性编码器，实现 0.005μm ( 5nm ) 的
高分辨力。
? 在测量范围 10mm 的宽范围内实
现了指示精度 0.1μm 。适用于标
准规的校正 · 赋值，以及用于测
量机的基准器
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