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| 品牌 |
七星华创 |
型号 |
D07-7B |
| 货号 |
116 |
原理 |
质量流量计 |
| 用途 |
气体流量计 |
工作温度 |
5-45 |
| 测量范围 |
5sccm-10sml |
安装形式 |
±1.5%F.S |
| 重量 |
1.1KG |
加工定制 |
是 |
| 是否进口 |
否 |
产地 |
北京 |
质量流量计用于对气体的质量流量进行精密测量；质量流量控制器用于对气体的质量流量进行精密测量和控制。他们在半导体和集成电路工业、特种材料学科、化学工业、石油工业、医药、环保和真空等多种领域的科研和生产中有着重要的作用。其典型的应用场合包括：电子工艺设备，如扩撒、氧化、外延、CVD、等离子刻蚀、溅射、离子注入；以及镀膜设备、光纤熔炼、微反应装置、混气配气系统、毛细管测量、色相谱仪及其它分析仪器。
D07系列质量流量控制器和质量流量计具有精度高、重复性好、响应速度快、软启动、稳定可靠、工作压力范围宽等特点，其操作使用方面，可任意位置安装，并便于与计算机连接实现自动控制。
D07系列质量流量控制器和质量流量计一般与D08系列流量显示仪等产片配套使用，控制器与显示仪之间用专用电缆连接。
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