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低温等离子体技术处理污染物的原理为：在外加电场的作用下，介质放电产生的大量 电子轰击污染物分子，使其电离、解离和激发，然后便引发了一系列复杂的物理、化学反应，使复杂大分子污染物转变为简单小分子 物质，或使物质转变为 或低毒低害物质，从而使污染物得以降解去除。因其电离后产生的电子平均能量在1eV～10eV，适当控制反应条件可以实现一般情况下难以实现或速度很慢的化学反应变得。
低温等离子体是继固态、液态、气态之后的物质第四态，当外加电压达到气体的放电电压时，气体被击穿，产生包括电子、各种离子、原子和自由基在内的混合体。放电过程中虽然电子温度很高，但重粒子温度很低，整个体系呈现低温状态，所以称为低温等离子体。低温等离子体降解污染物是利用这些高能电子、自由基等活性粒子和废气中的污染物作用，使污染物分子在极短的时间内发生分解，并发生后续的各种反应以达到降解污染物的目的。一般气体放电，将会产生等离子，而这种放电现像就是通过某种机制使一个或者多个电子从气体原理或分子中分离出来，形成气体媒质，这种媒质就称为电离气体，如果外电场产生了电离气体，传导电流就形成了，这种现象就被称为气体放电。而这种净化设备的技术，就是工业废气处理的一种原理。
低温等离子除臭设备拥有以下的特点：
1.恶臭废气净化效率达到98%以上。
2.无二次污染，恶臭废气处理后生成二氧化碳和水。
3.兼容性强，可搭配其他恶臭废气处理设备一起使用，如UV光解除臭设备，活性炭除臭设备。
4.安全性高，多次做过设备的防爆炸、防止漏电测试。
5. 模块化结构，占地面积小，方便安装、维护清洗。
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