联系人：陈先生
邮箱：845743000@qq.com
电话：17727599597
地址： 广东广州市南沙区东涌镇大同村广珠路3-10号
| 型号 |
1550 |
类型 |
车床 |
| 控制形式 |
数控 |
精密程度 |
精密 |
| 自动程度 |
自动 |
传动方式 |
联合传动 |
产品名:OTFC- -1 550DBI 型式:1500DBI
1.产品参数:
真空室中1550 X 1800mm(H)
工件架φ1400mm工件架转速10rpm to 30rpm (可变)
光学膜厚控制HOM2- R-VIS350A
波长范围:350nm to 1100nm光学膜厚监控仪反射式/透射式
水晶式膜厚计XTC/3+6点式水晶传感器
蒸发源电子枪2套
离子源17cmRF离子源
机械泵：排气系统2个扩散泵Polycold(或2个冷凝泵)
2.性能：达到压力7.0X10-5Pa以下排气时间20分 (大气压，1.3X10- 3Pa)基板温度:350
3.工作条件：约5500mn(W) X 7200mmX设备尺寸3700mm(H) 3相, 200v, 50/60Hz，电源约120KVA 水流量180升/分以上 空气压力0. 5MPa以上
重量约11000kg
17727599597